产品用途:Product Applications
●涡轮分子泵用于高真空和超高真空,它不能直接对大气排气,需要配置前级泵。
主要应用领域:Main applications:
●表面物理和分析仪器
●等离子体物理,空间研究
●核聚变装置
●原子束分子束系统,粒子加速器
●真空镀膜
●真空冶炼
●半导体和光学器件制造
产品特点:Product Features
●体积小,安装和使用方便
●理想的动平衡,震动和噪音小
●压力在10-1~10-8pa范围内有恒定的抽速
●陶瓷轴承使用寿命长